切割设备

中企好消息传出,突破高端晶圆激光切割装备

发布时间:2023/9/25 16:18:34   
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中企喜出望外,在高精尖晶片切割器上取得重大进展,并已完全做到了关键零件的完全自主制造。这算什么突破?对于中国的半导体产业有什么重要的作用?

在当今科学技术与信息化社会,芯片扮演着举足轻重的角色。作为一种重要的电子器件,其主要功能是对各种信息进行存储与处理。无论是手机、电脑、汽车,还是家用电器,基本上都离不开集成电路的支持。

那么,芯片是怎么来的?这其中牵扯到了一个很复杂的产业链,分为三个部分:一个是设计,一个是生产,一个是测试。中国在设计和测试技术上已经走在了世界的前列,但生产技术还需要进一步提升。

典型地,利用半导体处理来实施该制作步骤。这涉及到把电路图转换成实际的构造,然后利用诸如光刻与蚀刻之类的制程工序,在一块硅晶圆上制造出一条线路。为了保证线路的精度与品质,必须有很高的精密仪器与技巧。

而在此之前,首先要做的就是拿到硅片。硅片又称晶片,一般都是用高纯度的硅锭制作而成。硅片是制作芯片的基石,在硅片之上可以制作出不同种类的IC等微电子元件。

不过想要得到这些硅片并不简单,需要用专门的刀具或激光器将这些硅锭分成12、8、甚至更小的硅片。

这是最基本的一步,只有在这个基础上才能形成一个完整的芯片。采用常规的机械加工、激光加工工艺,在加工过程中存在着温度效应、边缘剥落等问题,从而降低了加工质量。

所以,在进行硅片切削时,必须保证切削的精确性和加工的表面品质。而就在这时,华工科技那边也发来了喜讯,他们宣布他们已经研制出了第一套高品质的硅片激光切割机,并且在关键零件上实现了百分之百的国产化。

通过对硅片加工工艺的改进,使其对温度的冲击降低到0,使其崩边粒度减小到5μm以下,使其切割线宽度减小到10μm以下。

华工公司背景深厚,创立于一九九九年,是中国最大的半导体装备生产与综合服务商,专门为世界上最大规模的集成电路产业生产与应用系统提供高端装备与方案。这一次,华工公司在高端硅片的激光切割机方面获得了重大的进展,这对于中国的半导体工业来说具有重大的现实意义。

该项目的成功实施,表明了中国在芯片生产装备方面的科技力量和自主研发能力得到了极大的提高。在很长一段时间里,中国的半导体生产装备一直都是依靠国外的,这对我国的半导体工业造成了很大的影响。

华工公司的这一重大技术创新,标志着中国已具备了独立研制、生产硅片激光切割机的能力,将弥补我国硅片加工装备的不足,促进中国硅片工业向独立自主方向发展。同时也提高了中国的芯片制造业的科技水准,提高了中国的国际竞争能力。

硅片的激光加工是硅片生产工艺的关键环节,它的好坏将会直接关系到硅片的品质与性能。华工公司对硅片的加工质量与工艺进行了全面的改进,这将使中国的集成电路制造技术更上一层楼,从而增强我国半导体工业的国际竞争能力。

此外,华工公司也正在为三代硅片雷射改良与切割机进行开发,并计划于今年七月正式投入生产。

或许有些人会认为,他们只是在芯片上取得了一些进展,但其他的光刻机、镀膜、热处理设备等等都还没有得到解决。所谓的成就就是积累、积累、积累。

芯片产业牵扯很大,不可能一蹴而就。再加上这一产业对国际市场的依赖性很强,光是中国自己的话,可能要比那些外国公司多花上数倍的功夫。

因此,每一个重大的技术进步,都是中国研究工作者努力的结果,也是他们应该得到重视的。

不管外国的科技有多强大,但那都是一步一步走上来的。一台EUV光刻机器,无论多么精良,它都是由十万个零件、超过五千个厂商堆积而成。

既然华工科技已经成功突破了硅片激光切割机的瓶颈,相信其他国内企业也能在这一块取得突破,为我国半导体产业的发展做出自己的努力。



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