切割设备

光刻机还远吗国内首台,100自研高端晶

发布时间:2024/7/30 14:34:17   

制作一颗“芯片”竟然需要依靠多少仪器来完成,那除了“光刻机”我们还有什么没有突破呢?

一颗芯片的诞生会经历设计、制造和测试几大关键阶段(分别对应集成电路产业链的设计业、制造业和封测业),且每一步都需要复杂的设备和步骤来完成。

而该过程所用到的设备:光刻机、等离子刻蚀机、离子注入机、反应离子刻蚀机、单晶炉、晶圆切割机、晶片减薄机、气相外延炉。

6月30日,中国电子科技集团发布了一项重大消息:旗下中电科电子装备集团有限公司已经成功实现离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖,离子注入机正是芯片制造的关键装备。

而在近日,我国领先的科技企业华工科技成功制造出了一台具备%国产化核心部件的高端晶圆激光切割设备,该设备在半导体激光设备领域攻克多项中国第一。

据华工科技激光半导体产品总监黄伟介绍,半导体晶圆作为一种硬脆材料,其上布满了成千上晶圆的切割和芯片的分离,无论采取机械方式还是激光方式,都会因物质接触和高速运动而产生热影响和崩边,进而对芯片的性能产生不利影响。因此,控制热影响的扩散范围和崩边尺寸成为了关键问题。

华工科技的高端晶圆激光切割设备通过创新的技术手段,成功解决了传统切割方式中存在的热影响和崩边问题。该设备采用了先进的激光切割技术,通过高能量、高密度的激光束对晶圆进行切割,避免了传统机械方式中的物质接触和高速运动,从而极大地减少了热影响和崩边的产生。

同时,该设备还配备了精确的控制系统,能够实时监测切割过程中的温度变化和切割位置,从而精准地控制热影响的扩散范围和崩边尺寸,确保切割质量的稳定性和可靠性。

华工科技的高端晶圆激光切割设备不仅在技术上取得了突破,而且在国产化进程中也取得了重要的成果。

该设备的核心部件全部由国内自主研发和制造,实现了%国产化,不再依赖进口设备和技术,具备了更高的自主创新能力和市场竞争力。这对于我国半导体产业的发展来说,无疑是一个重要的里程碑。

高端晶圆激光切割设备的问世,将为我国半导体产业带来巨大的推动力。首先,该设备的研发和生产将推动我国半导体设备制造业的技术水平和产业链的完善,提升了我国在全球半导体市场的竞争力。

其次,高端晶圆激光切割设备的应用将大幅提高芯片的切割质量和生产效率,降低了生产成本,进一步推动了我国半导体产业的发展和升级。此外,该设备还具备广泛的应用前景,不仅可以用于半导体行业,还可以应用于光电子、光通信、医疗器械等领域,为相关产业的发展带来新的机遇和挑战。

总之,华工科技近期制造出的高端晶圆激光切割设备在半导体激光设备领域取得了多项中国第一,为我国半导体产业的发展注入了新的活力。这一成果的取得,不仅彰显了我国科技实力的提升,更体现了我国在自主创新和国产化进程中的坚定决心。相信在不久的将来,我国的半导体产业将迎来更加光明的未来。

目前在芯片的设计到生产过程中,我国已经做到了很多关键设备的突破,虽然光刻机的研发还在努力中,但是你认为距离还会远?



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