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对更薄晶圆和更小芯片的强劲需求将驱动晶圆切割（划片）技术发展。

对薄晶圆的需求正强劲增长

受智能手机、智能卡和堆叠封装等消费类应用驱动，近年来对薄晶圆的需求日益增长。

据估算，年，用于MEMS器件、CMOS图像传感器、应用硅通孔（TSV）技术的存储器和逻辑器件以及功率器件的薄晶圆数量超过了万片，这个数量相当于8英寸晶圆投入总片数（waferstartsperyear,WSPY）。这些薄晶圆主要贡献于CMOS图片传感器，其次是功率器件。年到年期间，薄晶圆的复合年增长率预计为14%，预计到年，薄晶圆的数量将达到峰值的万片，相当于年8英寸晶圆投入总片数。

更薄的晶圆能够带来众多好处，包括超薄的封装，以及由此带来更小的尺寸外形，还包括改善的电气性能和更好的散热性能。

某些应用，如存储器和功率器件，它们的微型化朝着更小的尺寸、更高的性能以及更低的成本方向发展，这些应用的薄晶圆厚度小于μm或甚至小于50μm。

本报告按厚度和应用分析预测了薄晶圆的需求数量。同时也包括按晶圆尺寸分析预测了晶圆减薄所使用的设备数量，以及影响上述应用的技术要点分析。

薄晶圆的需求增长迅猛

薄晶圆正催生磨削、化学机械抛光以及湿法/干法蚀刻设备产业的市场增长

现阶段，最常规的半导体应用减薄工艺为磨削，所减薄晶圆的平均起始厚度为μm到μm。然而，厚度低于μm的硅晶圆会变得非常柔软有弹性，受迫于大批量加工制造的压力，仅仅凭借标准的磨削方法将厚度小于μm的硅晶圆进一步减薄，是非常具有挑战性的。

不同厚度的晶圆减薄所面临的技术问题

存储器和逻辑器件等领域需要额外的减薄步骤，如运用化学机械抛光（CMP）来消除由标准化磨削加工所引起的晶圆微开裂和边缘崩裂。背照式CMOS图像传感器是唯一使用湿法/干法蚀刻处理和化学机械抛光（CMP）的应用，因为背照式CMOS图像传感器需要最多步骤的背面磨削工艺来确保最好的芯片质量。

TAIKO工艺是由迪思科科技有限公司（以下简称DISCO）开发的新型晶圆背面磨削技术。这是功率器件应用的最重要的减薄工艺之一，可用于V-0VIGBTs器件和40V-VMOSFETs器件的背面金属化层的减薄。TAIKO工艺已经应用到英飞凌和意法半导体等功率器件主要制造商的大批量生产中。

本报告提供了需要薄晶圆加工的存储器、逻辑器件、MEMS、RFID、CMOS图像传感器和功率器件等应用的详细分析。报告还按晶圆尺寸、市场营收以及上述应用所需的减薄设备类型，对若干减薄处理应用的设备进行了详细分析。

不同应用所要求的晶圆厚度

市场对更薄的晶圆和性能更强劲的芯片的需求增长，驱动晶圆切割（划片）技术发展

年，晶圆切割（划片）设备市场规模为1亿美元，预计-年，该市场的市场规模将翻倍。但是，薄晶圆加工对晶圆切割设备的浓厚兴趣同时也为该行业带来许多新的挑战，如芯片断裂、破片、芯片强度低、其它待处理问题和切割破损。

最常用的运用于存储器、逻辑器件、MEMS、RFID和功率器件的切割技术是机械切割，也被称为刀片切割。然而，市场普遍要求更薄的晶圆和更小的器件，使我们

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