切割设备

MicroLED丨激光剥离设备高效赋能M

发布时间:2024/11/7 13:19:53   

高工产研LED研究所(GGII)预测,到年,全球MicroLED市场规模将超过35亿美元。年全球MicroLED市场规模有望突破亿美元大关。

随着LED显示屏的逐步演变,LED显示技术从LCD-OLED-MiniLED/MicroLED;LED显示封装形式也从直插DIP型—PLCC-TOP型SMD—CHIP型SMD—IMD/COB/MIP/COG。

MicroLED是下一代显示技术的主流方向,其中,MIP(MicroLEDinPackage)封装正成为LED封装头部企业在大尺寸MicroLED生产环节的关键技术,主要在于它具有显示效果好、高适配性和低成本等优点,降低了Micro-LED的使用门槛,可高效赋能MicroLED量产应用。

行业机构TrendForce预测,到年,MicroLED显示应用芯片产值有望达5.42亿美元;到年,MicroLED面板晶圆产值预计为27亿美元,未来4年MicroLed复合成长率高达%。

MIP封装技术的优势:

一、显示效果好:MIP器件能做到RGBMicro像素的全测、分选、混Bin,使面板的显示一致性高。

二、高适配性:MIP封装产品具有高适配性,一款MIP器件可匹配多种点间距的产品应用。

三、低成本:MIP封装技术在分光分色的同时可将不良筛选剔除,保证出货前的良率,降低了下游的返修成本;同时,MIP封装技术能兼容当前设备,具有降低研发、设备投入的优势。

MIP封装技术是一种基于MicroLED的新型封装技术,通过将大面积的整块显示面板分开封装,实现MicroLED和分立合。其工艺流程是将MicroLED芯片通过巨量转移技术转移到基板上,进行封装,切割成单颗或多合一的小芯片,再将小芯片分光混光,接着再进行贴片工艺、屏体表面覆膜,完成显示屏的制作。

MIP封装制程:

激光加工设备覆盖了MicroLED大部分的核心工艺制程,激光剥离设备作为核心工艺制程之一,主要用于MicroLED领域从蓝宝石上选定位置或者整面剥离氮化镓、胶材等材料的剥离加工。它有机结合了激光精密加工和晶体可控剥离,实现半导体晶体的可靠切片工艺,可将晶体切割损耗降低60%以上,加工时间减少50%以上,并实现晶体加工整线的高度自动化。

大族激光全资子公司深圳市大族半导体装备科技有限公司(以下简称大族半导体)自主研发的激光剥离设备采用紫外激光器及外光路系统,搭配高精度的CCD成像定位系统及超精密运动控制平台,可达到精确、高效、高品质的剥离效果,该款设备目前已实现量产。

MicroLED激光剥离设备

性能特点:

剥离工艺效果稳定,加工良率高,剥离良率可达99.9%以上

可实现最小尺寸10μm,间距10μm的芯片加工

自动CCD校正,可满足对不同规格产品精准识别定位

可兼容4/6/8inch的基板及6inch及以下wafer

具备激光剥离加工后盖板与转移基板自动分离功能

光斑可调,可根据需求更换或调节MASK得到不同尺寸和形状的光斑

载台可升降,升降补偿视觉聚焦,可解决片子翘曲气泡问题

自动上下料,无人值守全自动运行

配备超高精度运动平台,全闭环控制,有效提高系统单位时间内的产能

加工效果

①准分子LLO后效果

②固体LLO后效果

大族半导体从年开始,致力于研究在MiniLED/MicroLED领域激光加工应用的相关课题,协助LED头部企业推进MicroLED产业化进程。除激光剥离设备以外,大族半导体还可提供如激光修复、激光巨量转移、激光巨量焊接和玻璃拼接等整套解决方案,并具备相关设备量产能力。未来,大族半导体将持续为MicroLED产业提供专业系统化解决方案,高效赋能MicroLED产业。



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