半导体划片工艺是将含有很多芯片的晶圆分割成晶片颗粒,切割质量的好坏、效率的高低,直接影响芯片的质量和成本。随着集成电路的大规模化发展,划片工艺愈发精细化和高效化。这个工艺涉及到的设备是划片机,广泛用于半导体封测、陶瓷薄板、蓝宝石玻璃等材料的精密切割,是半导体封测阶段主要的设备。
一、划片工艺划片工艺主要有刀片切割和激光切割。刀片切割是主流的切割方式(刀片由金刚石颗粒与粘合剂组成),具有效率高、成本低、寿命长等特点,适用于较厚的晶圆,约占80%市场份额;激光切割,激光头价格较贵、寿命较短,但精度高、速度快,适用于较薄的晶圆,约占20%市场份额。
二、国外厂商划片机国外厂商主要有日本DISCO、东京精密,这两家公司高度垄断全球划片机市场,年划片机全球市场份额约20亿美元,DISCO超过70%,东京精密超过25%。ADT前身是美国库力索法公司,收购了KS切割机和刀片业务,成立ADT公司,现在是我国光力科技的子公司。
三、国内厂商我国划片机的厂商主要有光力科技、江苏京创、沈阳和研,还有少量涉及该领域的公司有中电科电子和深圳华腾半导体。光力科技通过收购ADT和LPB公司(气浮主轴),对高精密气浮主轴这一核心零部件实现自主可控,成为全球既有划片机又有主轴技术的公司之一。
我国划片机市场份额约4.9亿美元,ADT公司所占份额不到5%,其余绝大部分都被被DISCO和东京精密占据。
从光力来看,国内企业通过收购国外相关企业,获取产品技术和渠道,带动本土人才与技术的升级,国产替代的局面一定会更好。